与其他气体相比，稀有气体都是单原子分子，这是它们的一个特点，也是由于它们的“惰性”所决定的。尽管如此，按照元素周期表的规律，自上而下，随着原子序数的递增，它们相互间的惰性也是有差异的。例如，已经发现在一定条件下，氙可以与氟相互作用生成三氟化氙。
稀有气体因其在自然界中量少而得名，主要包括氦（He）、氖（Ne）、氩（Ar）、氪（Kr）、氙（Xe）、氡（Rn）六种气体，其中氡是放射性元素，故除了作为科研测漏之外，工业生产中尚未得到广泛的应用。稀有气体是元素周期表中的第八族元素（或零族），原子最外层轨道上已被电子充满，结构稳定，通常不与其他物质反应，性质不活泼，故称为惰性气体。
氩：
1、用作白炽灯的填充气体，以抑制炽热钨丝的挥发，延长灯的寿命；
2、填充在荧光灯中，帮助启动，保护电极免受汞离子的冲击，同时延缓阴极上金属的蒸发；
3、充入冷阴极放电管中，可获得淡蓝色的发光；
4、在高压汞灯和金属卤化物灯中起启动和缓冲作用；
5、在微波激发下发射真空紫外谱线（104.8nm和106.7nm）,用作光化学反应源。
氖：
1、与氩混合组成潘宁气体，充填在荧光灯中，可降低灯的启动电压；
2、充于冷阴极放电管中，可获得橙红色的发光，用作指示灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（74.4nm和73.6nm）
氙：
1、充入HID氙灯中，在启动后立即获得全部光输出的80%，放电时发射白光，色温5500K；
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；
3、在微波激发下，发射单色的真空此外谱线（14.7nm）
氪：
1、与氩混合，充填在荧光灯中，可提高光效，但启动困难；
2、可制成卤素混合气体填充卤素灯；
3、氪85同位素气体可填充入金属卤化物灯，帮助启动；
4、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（123.6nm和116.5nm）
氦：
1、与其它惰性气体混合用于大功率荧光灯中；
2、在微波激发下，发射单色的真空紫外谱线（58.4nm）
与其他气体相比，稀有气体都是单原子分子，这是它们的一个特点，也是由于它们的“惰性”所决定的。尽管如此，按照元素周期表的规律，自上而下，随着原子序数的递增，它们相互间的惰性也是有差异的。例如，已经发现在一定条件下，氙可以与氟相互作用生成三氟化氙。因此，所谓的惰性也是相对的，要具体分析，当然，从总体上说，稀有气体还是属于化学性质极不活泼的一类气体。
稀有气体在电光源中的主要用途
用氙气做成氙灯，则能发出近似日光的密集光谱用于放映和照明。稀有气体除作为灯内的工作物质外，氩气也常作为电光源生产工艺中的保护气体使用。